国产asml

光刻机概念集体飙升网传中芯国际测试“国产ASML”

据媒体引述知情人士的消息透露，中芯国际正在测试由上海初创公司宇量昇制造的深紫外（DUV）光刻机，该机器采用的是浸没式技术，技术路线接近ASML。不过目前中芯国际未对该消息进行有效回应。